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スピンコーター

本器は、シリコンウェハー及びガラス基盤上にフォトレジスト等の薬液を効率よく、且つ均一に回転塗布することを目的とした高性能小型フォトレジストスピンナーです。
<K-359S1簡易型>(製造中止)

2ステップ/アナログメーター/MAX6000rpm/サンプルサイズ〜4インチφ

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<K-359S1簡易型>

2ステップ/デジタルメーター/MAX6000rpm/サンプルサイズ〜4インチφ

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<K-359SD1>

3ステップ/デジタルメーター/MAX7000rpm/サンプルサイズ〜6インチφ
プレッシャーセンサー/インターロック付カバー

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<K-359SD2>

3ステップ/デジタルメーター/MAX7000rpm/サンプルサイズ〜8インチφ
プレッシャーセンサー/インターロック付カバー

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<K-359SD3>

3ステップ/デジタルメーター/MAX3000rpm/サンプルサイズ〜12インチφ
プレッシャーセンサー/インターロック付カバー/排気口

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<共通試料台>
サンプルサイズに合わせてオーダー承ります。

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株式会社 共和理研
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電話 03(3321)9911  FAX 03(3321)9917

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