X,Y,Z軸微動 |
5mm 250μm/1回転 |
Y軸粗動 |
16mm |
θ軸粗動 |
90° |
X,Y,Z軸微動機構 |
アリミゾ機構 |
寸法 |
約W 38×D 120×H 65mm |
重量 |
約260g |
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X,Y,Z軸微動 |
6mm 250μm/1回転 |
Y軸粗動 |
16mm |
θ軸粗動 |
90° |
X,Y,Z軸微動機構 |
スライドベアリング機構 |
寸法 |
約W 55×D 130×H 73mm |
重量 |
約400g |
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X,Y,Z軸微動 |
10mm 500μm/1回転 |
X,Y,Z軸超微動 |
1mm 20μm/1回転 |
X,Y,Z軸微動機構 |
スライドベアリング機構 |
寸法 |
約W 90×D 130×H 86mm |
重量 |
約700g |
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