測定方式 直流４探針法 測定項目 Ω/□,V/I,Ω-cm 測定範囲 Ω/□;10μ〜5M,V/I,Ω-cm;1μ〜500K 厚み補正 1μm〜 F2補正（プローブが境界に直角） 0.1mm〜9.9mm F3補正（プローブが境界に平行） 0.1mm〜9.9mm データ表示パネル 5桁,F.S5000,文字高15mm 印加電流 Ω/□：453.2mA〜453.2nA V/I：1000mA〜1000nA Ω-cm：628.3mA〜628.3nA プリンター出力 セントロニクス仕様 コンプライアンス電圧 60V,50V〜30V可変（切替） 消費電力 約100W 電源入力 AC100V/2A 外形寸法 W312×D330×H155mm 重量 約7kg