露光源及び照射ユニット ウシオ電機社製マルチライト 超高圧水銀灯 （インテグレート積分方式） 照射経 100mmφ(K-310P100S) 165mmφ(K-310P165S) 主波長 IIタイプ又はIGタイプ 照度 25mW/c�u以上(K-310P100S) 9mW/c�u以上(K-310P165S) 均一度 ±5%以内 平行度 ±１度以内 マスクホルダー 別途打ち合わせ 顕微鏡ランプハウス 同軸回転移動式（手動） アライメント用マニピュレーター X,Y軸微動 13mm　500μm/1回転　 10μm/1目盛 アライメント用マニピュレーター X,Y軸超微動 0.2mm　25μm/1回転 0.5μm/1目盛 アライメント用マニピュレーター Z軸微動 10mm アライメント用マニピュレーター Z軸ダイヤルゲージ ストローク1mm　1μm/1目盛り アライメント用マニピュレーター θ軸微動 10° ネガマスク及びサンプル同時移動 X,Y軸微動 100mm 2mm/1回転 ランプシャッター開閉用タイマー 0.1〜999.9sec　減算表示4桁数字表示LEDタイマー ランプ冷却ファン用ON/OFF遅延タイマー ON=水銀灯点灯当初暖気用0〜5min OFF=水銀灯消灯後冷却用0〜30min 寸法 W 840×D 625×H 865mm