モーター 安川電機社製プリントモーター75W 回転数 100〜6000rpm 回転精度 ±0.2%/3000rpm 電源入力 AC100V 7A 表示パネル タイマー３桁　0〜999sec　回転計4桁 （各数字表示LED使用） ステップ数 プログラマブル2ステップ 試料固定 真空吸着法 真空ポンプ配管ノズル 外径6mmφ（左側面） 最大試料寸法 ウェハー4インチφ 受け皿 内径270mmφ SUS製 寸法 W 340×D 420×H 220mm 重量 約17kg オプション 御指定型試料台、真空ポンプ