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<ウェハーライフタイム測定装置> K−720LH2
本装置は共振回路を用いた新しいタイプのライフタイム測定器です。
シリコンウェハーのライフタイム測定器を非接触で容易に行うことが可能です。ご使用目的に応じたオシロスコープを選定することにより有効にその実力を発揮します。
ライフタイム測定範囲 1μS〜1000μS(1Ω・cm以上)
分解能 20mmφ
RF周波数 40MHz
照射光源 赤外LED
測定可能サンプルサイズ 20mmφ〜200mmφ t max=2.0mm
寸法 W 260×D 470×H 290mm
消費電力 AC100V 50W

株式会社 共和理研
〒168−0063 東京都杉並区和泉3−37−3
電話 03(3321)9911  FAX 03(3321)9917

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